“还有良率。”
“是啊,经过这么多道曝光,任何一道工序失败,都可能满盘皆输,成本就上来了……”
领导们来回分析,议论纷纷。
6飞只能一一回答,“损害寿命肯定会损害,良率低也肯定会低一些,成本自然也就会高一点,但这是没有办法的办法,目前euv光刻机国产化要实现彻底突破,还有不少技术难题摆在面前,需要时间去攻破。”
“比如呢?”
沙领导投去问询的目光。
“光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台,现在双工作台已经解决了,光源问题也突破了,就剩下物镜系统。”
6飞直说道:“asl、尼康的光刻机用的是蔡司的技术,但蔡司愿意卖给asl、尼康,但绝对不会出口给我们。”
然后叹了口气,“没办法,我们只能从零开始,联合长春光机、徕卡、华为等联合研,现在搞定了v浸润式的物镜系统,至于euv的,恐怕需要很长一段时间。”
“那这期间,复芯、中芯的晶圆代工,有没有可能会被台积电、英特尔的差距拉大?”
郑韩皱了皱眉。
“肯定会,但好在情况并不糟糕。”
6飞笑道:“虽然5n是目前我们的极限,理论上而言,台积电、英特尔、三星这些有euv光刻机的,制程工艺甚至可以冲击到1n,但得到的回报并不会太高。”
不少领导感到奇怪,“为什么这么说?制程工艺难道不是越先进越好嘛?”
“理论上是这样,但事实是现在全球智能机领域已经有‘性能过剩’的趋势,搭载5n芯片的手机体验,未必就不如3n,就会让3n及以下工艺陷入一种尴尬的地步,飙升的成本却只得到微弱的性能提升。”
6飞嘿然一笑,“反倒是28n、14n和7n这三个节点的工艺才是市场主流,特别是我们国内绝大部份的芯片需求,所以有了国产的v浸润式光刻机,基本可以保证我们不会也不怕被卡脖子,也能保证支撑到我们研出euv光刻机的那一天。”
众人两两相望,相视一笑。
确实,28n是集成电路产能中划分中低端跟中高端的分界线。
除了对功耗要求比较高的cpu、gpu、ai芯片外,其余的工业级芯片用的都是28n以上的技术,比如电视、空调、汽车、高铁、火箭、卫星、工业机器人、电梯、医疗设备、智能手环、无人机……
但现在,7n,甚至不计任何代价,极限可以推到5n,简直是绰绰有余。
“你们在资金上、政策上、人才上,或者在其他方面,有没有什么需要我们解决的?”
沙领导慈眉善目。
6飞也不客气,立马张口。
一个敢提,一个敢接。
“我还有个提议,希望领导们能支持。”
“说。”
“是这样,逻辑这些年一直跟水木大学开展了比较另类的秘密项目,那就是研究直接跳过光刻机,建立光刻厂和光刻车间。”
“光刻厂和光刻车间?!”
沙领导、郑韩等人或多或少感到惊讶。
“对,安装和调试一台v光刻机需要至少一年的时间。”
6飞一本正经说,“而如果直接造光刻厂,把光刻机的整个供应链连接起来,就可以摆脱以往单台光刻机的生产模式,转为流水线生产,根据不同的精度需求,大规模生产各类精度的光刻机,就能把光刻机,甚至芯片价格打下去,你们觉得怎么样?”
“嘶~”
现场技术领域的领导立刻窃窃私语起来。
“多条路,就多种选择,大胆去试,放手去干,我们永远是你们的坚实后盾。”
沙领导拍了下6飞的肩膀。
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